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KW-5台式匀胶机       询价购买


产品详情:

(1)广泛应用于半导体,集成电路,材料,微光学,生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产。

(2)可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。

(3)20年精心打造核心技术, KW-4A型经典匀胶机被仿冒无数仍无法超越,国产匀胶机第一品牌。


规格参数:

型号: KW-5

转速 :500-5000 RPM

转速稳定性:<±1%

旋涂均匀性:<5%

基片尺寸: Φ100-Φ200mm圆片,最大200×200mm2方片

整机尺寸:(mm3)500×500×460

电机功率:  180W

适应材料: 硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等各种材料

特殊夹具定制: 20年特殊夹具设计经验,完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品

旋涂时间: 单步工艺0-60s,满足绝大多数客户需求。特殊可定制

抽气速率:>60L/min

质量保证: 中科院微电子所独家设计制造,通过ISO9000质量体系认证